超精密加工表面粗糙度测量方法对比及功率谱密度评价
COMPARISON OF ULTRA-PRECISION MACHINED SURFACE ROUGHNESS MEASUREMENT METHODS AND POWER SPECTRAL DENSITY CHARACTERIZATION
摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪 论
1.1 课题背景及研究的目的及意义
1.2 表面形貌测量技术发展概况
1.3 表面形貌评价方法及研究现状
1.4 表面功率谱密度评价方法的发展
1.5 本课题的主要研究内容
第2章 表面粗糙度的评定与功率谱密度评价方法
2.1 引言
2.2 表面粗糙度的评定
2.3 功率谱密度的定义及物理内涵
2.4 一维功率谱密度估计算法研究
2.5 二维功率谱密度的定义与估计算法
2.6 本章小结
第3章 表面粗粗糙度测量仪器的分析与选择
3.1 引言
3.2 Form Talysurf PGI 1240轮廓仪
3.3 Talysurf CCI 2000白光干涉仪
3.4 Nanoscope Dimension 3100原子显微镜
3.5 本章小结
第4章 表面粗糙度的测量实验与测量结果分析
4.1 引言
4.2 实验方案与实验步骤
4.3 测量实验及其测量结果
4.4 测量结果分析
4.5 测量结果的功率谱密度分析
4.6 本章小结
第5章 基于频谱分析确定采样条件的方法及功率谱密度表征
5.1 引言
5.2 频谱分析确定采样条件的方法
5.3 超精密加工表面的功率谱密度表征
5.4 本章小结
结 论
参考文献
附 录
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致 谢
哈尔滨工业大学;