公开/公告号US9515161B1
专利类型
公开/公告日2016-12-06
原文格式PDF
申请/专利权人 HRL LABORATORIES LLC;
申请/专利号US201414464077
申请日2014-08-20
分类号H01L21/338;H01L29/66;H01L29/20;H01L29/201;H01L29/205;H01L29/47;H01L21/02;H01L21/3205;H01L29/423;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:41:05