公开/公告号US10767978B2
专利类型
公开/公告日2020-09-08
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201815950823
申请日2018-04-11
分类号G01N23/201;G01N23/20;G01B11/14;H01L21/66;G01B11/26;G03F7/20;G01N21/47;H01J37/28;G01N21/21;G01B11/06;H05G2;G01N21/95;G01B15;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:28:11