法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01D 5/26 授权公告日:20100602 终止日期:20170730 申请日:20080730
专利权的终止
2010-06-02
授权
授权
2010-06-02
授权
授权
2009-02-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-02-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-12-17
公开
公开
2008-12-17
公开
公开
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机译: 与光学传感器配合使用的电可调表面微机械Fabry-Perot干涉仪,例如Fabry-Perot干涉仪
机译: 与光拾取器配合使用的电可调表面微机械Fabry-Perot干涉仪,例如Fabry-Perot干涉仪
机译: 基于可调Fabry-Perot干涉仪的高光谱成像的信号处理