利用微波等离子体在热塑容器上沉积内阻挡涂层的装置

摘要

一种利用微波等离子体在热塑容器上沉积阻挡涂层的装置，其包括处理台(1)，每个处理台具有一个腔室(2)和一个外壳(3)，所述外壳包括一个真空泵室，其与在一个可分离单元(7)中集中的且被所述的可分离单元的一个耦合面(8)带有的各个套所保护功能组件相连接，所述可分离单元可以被附着到外壳上。所述外壳整合了功能通道(16)，所述功能通道是功能组件所需的和形成于该外壳的一个耦合面(9)上，这些耦合面以互补方式相配；和当使用其各自耦合面相互配合，将所述可分离单元固定到外壳上时，这些通道和这些套被分别连接。