包括应力灵敏元件的半导体结构以及于半导体结构中测量应力的方法

摘要

一种半导体结构包括应力灵敏元件。该应力灵敏元件的特性为表示在该半导体结构内之应力。此外，该半导体结构可以包括电性元件。该应力灵敏元件及该电性元件包括部分共同的结构层。分析仪可以适于确定表示在该半导体结构内的应力的该应力灵敏元件之特性及该电性元件的特性。该应力灵敏元件的特性可以确定并且该制造工艺可以依据该应力灵敏元件的确定的特性而作修正。该电性元件之特性可以与该应力灵敏元件的特性产生关联以研究应力在该电性元件上的影响。