铸锭单晶籽晶、铸造单晶硅锭及其制备方法、铸造单晶硅片及其制备方法

摘要

本发明涉及一种铸锭单晶籽晶及其制备方法、铸造单晶硅锭及其制备方法、铸造单晶硅片及其制备方法。铸锭单晶籽晶内掺杂有掺杂元素，掺杂元素的原子体积大于硅的原子体积，掺杂元素的掺杂浓度大于5×10^15个原子/立方厘米。应用本发明技术方案的铸锭单晶籽晶，由于掺杂元素的原子体积大于硅的原子体积，且掺杂元素的掺杂浓度大于5×10^15个原子/立方厘米，能够在长晶之前熔化阶段的热处理过程中明显抑制氧沉淀，以保持晶体结构在熔化阶段热处理后的完美性，减少了位错滋生，提高铸锭良率和硅片效率，从而达到降本增效的目的。