公开/公告号CN110838479B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201911183955.4
申请日2019-11-27
分类号H01L23/544(20060101);H01L21/66(20060101);G01R31/26(20140101);G01R31/265(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曹廷廷
地址 201315 上海市浦东新区良腾路6号
入库时间 2022-08-23 12:08:27
机译: 时间失效分析方法,时间失效分析装置及时间失效分析程序
机译: 失效分析系统和失效分析方法为null burankusu
机译: 具有失效分析功能的环形界面失效分析方法及系统