一种基于吸附富集原理的高压气体微量组份检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于吸附富集原理的高压气体微量组份检测装置及方法，检测装置包括高压气体源、缓充室、吸附组件、质谱分析单元及真空泵组件；真空泵组件用于维持缓充室、吸附组件及质谱分析单元所需的压力，通过管路分别与缓充室、吸附组件及质谱分析单元相连；高压气体源向缓充室输入被测高压气体，被测高压气体由高压力减压至常压状态后进入吸附组件，吸附组件基于吸附富集原理将被测高压气体中的微量活性气体吸附后再次释放；释放后的微量活性气体进入质谱分析单元中，根据质谱分析获得被测高压气体的不同微量活性气体浓度含量。本发明的检测方法不需要配制标样气体，可以实现对微量活性气体含量的精确检测。