用于流化床反应器系统的气体分布单元，具有该气体分布单元的流化床反应器系统以及使用该流化床反应器系统制备颗粒状多晶硅的方法

摘要

本发明涉及一种用于流化床反应器系统的气体分布单元，具有该气体分布单元的流化床反应器系统，以及使用该流化床反应器系统制备颗粒状多晶硅的方法。根据本发明的用于流化床反应器系统的气体分布单元使得能够对集气室内的每个区域进行气体流量控制和气体组成控制。此外，具有所述气体分布单元的流化床反应器系统能够对流化床进行形状控制(特别是在鼓泡流化床和喷动流化床之间转变)。使用所述流化床反应器系统制备颗粒状多晶硅的所述方法不仅同时提高了工艺稳定性和生产率，而且也能够在异常情况的事件中实现更灵活的处理。