具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法

摘要

本公开的实施例涉及具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法。一种微机电设备。包括：主体(4)，容纳微机电结构(8、10)；以及帽(5)，通过导电键合区域(7)键合至主体(4)并且电耦合至微机电结构(8,10)；其中帽(5)包括选择模块(13)，选择模块(13)具有耦合至微机电结构(8、10)的第一选择端子(13a)、第二选择端子(13b)和至少一个控制端子(13c)，并且可以通过控制端子(13c)控制，以选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一、将第二选择端子(13b)耦合至相应第一选择端子(13a)。