稳态原子束能谱测量系统以及方法

摘要

本发明公开了一种稳态原子束能谱测量系统以及方法，使用多栅离子能量分析器和朗缪尔探针结合的方式来测量离子能谱，通过朗缪尔探针测量等离子体空间电位和鞘层电位，并对多栅离子能量分析器的导体外壳施加相应的校正电压来抵消等离子体电位和鞘层电位的影响，从而获得更加准确的测量结果。