离子束系统以及在该系统中减少衬底的外来物质污染的方法

摘要

一种在离子束系统中减少衬底的杂质污染的方法以及一种离子束系统。所述系统包括：真空室，其具有开口，该开口与离子束轴同轴排列；衬底室，其具有开口，该开口与离子束轴同轴排列，该衬底室关于倾斜轴自由倾斜，倾斜轴与离子束轴垂直并相交；可伸缩的风箱，其将衬底室中的开口与真空室中的开口连接，风箱与离子束轴同轴排列，在衬底室和真空室之间提供真空密封；以及中空的外来物质护罩，其开口于接近真空室的顶部，护罩的顶部不延伸至经过真空室中的开口进入真空室中，并且不连接到真空室内的任何结构，护罩开口于底部，护罩的底部固定连接并电连接到衬底室，护罩位于离子束轴和可伸缩的风箱之间，护罩的顶部和底部与离子束轴同轴排列。