枝晶生长控制电路和用于控制互连枝晶生长的方法

摘要

本发明提供了一种电路，其由于枝晶形成电流，防止在半导体器件处理过程中互连上的枝晶形成。该电路包括设置在枝晶形成电流路径的至少一个中的开关。该开关配置为在处理过程中“开路”或处于“截止”状态，以及配置为在处理之后“闭合”或处于“导通”状态，以允许半导体器件的正确功能。该开关可以包括nFET或pFET，取决于它用于控制或防止枝晶形成的环境。开关可以配置为当在制造半导体器件的工作过程中提供输入信号时，变为“闭合”状态。