一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台

摘要

本发明公开一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台，包括微动平台基体，所述微动平台基体从下至上依次包括底板、中间部分以及顶层部分，所述中间部分的中央设置有两个传递梁：传递梁Ⅰ用于连接所述中间部分以及顶层部分的Y向两端的柔性铰链变形结构，传递梁Ⅱ用于连接所述中间部分以及顶层部分的X向两端的柔性铰链变形结构；所述顶层部分由外至内依次设置有柔性铰链变形结构、动平台以及输出平台，所述动平台中央设置有输出平台，所述输出平台两端分别通过杆杠放大机构连接有压电陶瓷驱动器。本发明柔性梁连接动平台的两个解耦部分，实现了驱动力的平均分配及解耦；采用两个音圈电机驱动，实现动平台在XY平面内高精度、大行程的运动。