一种用于光刻运动台系统的微动台及其控制方法

摘要

本发明涉及一种用于光刻运动台系统的微动台及其控制方法，所述微动台安装于工件台的运动部件上，包括微动板和设置于所述微动板底部的四个垂向电机，所述四个垂向电机分设于所述微动板的两侧，每个所述垂向电机对应设置一个传感器，同侧的两个垂向电机之间设置一个Rz电机，距离所述微动板的质心30mm以内处设置有气浮解耦装置。本发明采用四个垂向电机和四个传感器根据冗余驱动原理和冗余测量原理，实现了冗余控制，降低了对微动板频率的要求，即达到50Hz带宽，微动板频率只需做到120Hz左右，降低了对贵重材料的需求，降低了成本；气浮解耦装置靠近微动板的质心而非形心，从而极大地减小了Rz电机的出力。