用于瑞奇康芒检测的Zernike像差单位激励影响矩阵计算方法

摘要

本发明公开了一种用于瑞奇康芒检测的Zernike像差单位激励影响矩阵计算方法。作Zernike像差单位激励运算：设定某一平面镜面形误差Zernike系数为1，其余平面镜面形误差Zernike系数为0；由公式可重构瑞奇康芒检测光路平面镜面形误差引入的系统波相差分布；对系统波像差做Zernike拟合，可得该平面镜面形误差引入的系统波像差Zernike系数向量。在依次做完针对所有Zernike像差的单位激励运算后，可得到所有对应的系统波像差Zernike系数向量。将这些系统波像差Zernike系数向量按列排列，可得到瑞奇康芒系数影响矩阵。通过Zernike像差单位激励运算的方法来计算影响矩阵，简化了计算过程，无需取近似化公式，消除了F数的限制，同时也使得检测精度大大提高。