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一种用于裂变径迹化学蚀刻的设备及方法

摘要

本发明涉及一种用于裂变径迹化学蚀刻的设备及方法,设备包括恒温装置、样品装填装置、卸载装置、装置和操作系统。本发明利用恒温控制单元,包括温度传感器、半导体恒温器和泵阀装置实现裂变径迹的恒温蚀刻;利用样品装填和卸载装置实现样品自动安装和拆卸;通过驱动装置,包括压力传感器,定时完成样品蚀刻和清洗。本发明配置操作系统,可根据实验需要调整蚀刻时间、蚀刻温度和样品数量,实现了裂变径迹化学蚀刻的自动化。与现有技术相比,本发明安全性更好、蚀刻效率更高、蚀刻时间控制更为精确。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-06-21

    授权

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  • 2017-07-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N1/32 申请日:20170119

    实质审查的生效

  • 2017-07-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/32 申请日:20170119

    实质审查的生效

  • 2017-06-20

    公开

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  • 2017-06-20

    公开

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  • 2017-06-20

    公开

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