一种基于定向耦合器结构的MEMS湿度传感器

摘要

本发明提供了一种基于定向耦合器结构的MEMS湿度传感器。该湿度传感器包括定向耦合器(1)、与定向耦合器(1)中的第二耦合器信号线(1b)中的耦合端口(1c)和隔离端口(1d)分别连接的第一终端式微波功率传感器(2)和第二终端式微波功率传感器(3)、湿度敏感材料聚酰亚胺(4)；其中，定向耦合器(1)包括第一耦合器信号线(1a)和第二耦合器信号线(1b))。本发明通过吸收了水汽分子的聚酰亚胺(4)介电常数发生变化，导致定向耦合器(1)的第二耦合器信号线(1b)中的隔离端口(1d)和耦合端口(1c)输出的微波功率发生变化，从而实现湿度的测量。