一种全谱段800nm-2500nm的双探测器微型近红外光谱仪

摘要

本发明提出了一种全谱段800nm‑2500nm的双探测器微型近红外光谱仪，它是由近红外光源、入射狭缝、凹面准直镜、MOEMS扫描光栅微镜、凹面成像镜、出射狭缝、响应波长范围不同的单管近红外双探测器组成。本发明设计的改进型Czerny‑Turner光路系统，有效抑制了像差，确保了系统成像质量。本发明采用集成角度传感器的MOEMS扫描光栅微镜，兼具宽波段范围内扫描与分光功能，同时能够实时精确控制扫描角度，实现了单管近红外双探测器的不同波长连续精确探测。本发明具有价格低、体积小、响应快、精度高、探测光谱范围宽等优点。