工艺流程控制方法以及工艺流程控制系统

摘要

本发明揭示了一种工艺流程控制方法，包括：判断所述待处理的产品晶圆组中是否含有需执行特殊工艺流程的产品晶圆组，如果没有需执行特殊工艺流程的晶圆组，则按照正常工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理；如果有需执行特殊工艺流程的晶圆组，则将所述公共档控片的程式设置为所述特殊工艺流程中的所述工艺机台的程式，使用所述公共档控片工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理。本发明还揭示了一种应用该方法的工艺流程控制系统。本发明的工艺流程控制方法以及工艺流程控制系统，能够提高半导体制造自动化的控制效率，降低误操作，提高生产效率。