用于微机电系统器件的有源侧向力粘滞自恢复

摘要

本发明涉及用于微机电系统器件的有源侧向力粘滞自恢复。提供了通过施加正交于粘滞力的力从MEMS器件中的与粘滞相关的事件恢复的机制。施加正交于粘滞力的矢量的弱力可以比施加平行于粘滞力的矢量的力更容易释放被阻塞的检测质量块。示例实施例提供了垂直的平行板(510,520)或梳指状侧向致动器(610,620)以施加正交力。另选实施例提供了第二换能器(710)的检测质量块(720)来碰撞被阻塞的MEMS致动器以释放粘滞。