法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-14
授权
授权
2015-07-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20150310
实质审查的生效
2015-07-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20150310
实质审查的生效
2015-06-24
公开
公开
2015-06-24
公开
公开
机译: 基于平面光栅激光干涉仪的高分辨率相位检测方法和系统
机译: 干涉仪光栅支撑用于基于光栅的X射线成像和/或支撑支架
机译: 用于基于光栅的X射线成像和/或支撑架的干涉仪光栅支持