用于微电子学器件生产的逐次运行控制器

摘要

一种用于控制制造加工的自动逐次运行控制器，该控制器包含一套加工工具，一套在加工工具上进行计量测量的计量工具，和一个管理、控制加工工具的监控站。监控站包含一个接口，用于接收计量工具测量的数据；和一系列可变参数表，每一个可变参数表用于一个加工工具，这些可变参数表集体地关联于制造加工的工作程序。监控站还包含一个或多个内部模式，这些模式使收到的计量数据与一个加工工具的一个或多个变量联系起来，它们还可以修改储存在可变参数表里的变量采用反馈和/或前馈控制算法控制加工工具。在某些实施方案中，前馈算法可以用于调节闭环反馈控制的加工目标。监控站可以有一个用户接口，利用这种接口，可以根据系统实验的或预估的行为交互地选择不同的反馈或前馈模型格式(单一或多个-变量)，而且还允许用户利用他们自己的模型进行逐次运行控制。