公开/公告号CN213874082U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司;
申请/专利号CN202022562080.3
申请日2020-11-06
分类号G01B5/06(20060101);G01B5/20(20060101);
代理机构11616 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司;
代理人邓凌云
地址 230012 安徽省合肥市新站区涂山路与奎河路交口西300米
入库时间 2022-08-22 23:25:03
机译: 基板翘曲去除装置,基板翘曲检测单元,基板处理装置,方法以及存储介质的基板翘曲去除装置及方法
机译: 基板翘曲检测装置,基板翘曲检测方法,基板处理装置以及使用该基板处理装置的基板处理方法
机译: 基板翘曲检测装置,基板翘曲检测方法,以及使用其的基板处理装置和基板处理方法