公开/公告号CN213401102U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 晶澳太阳能有限公司;
申请/专利号CN202022004987.8
申请日2020-09-14
分类号H01L21/67(20060101);H01L31/18(20060101);B08B5/02(20060101);B08B3/08(20060101);F26B21/00(20060101);
代理机构11111 北京市万慧达律师事务所;
代理人赵越
地址 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街
入库时间 2022-08-22 22:02:15
机译: 基板清洗设备,包括该基板清洗设备的基板处理系统以及使用该基板清洗设备制造半导体装置的方法
机译: 容器清洗设备和系统(容器清洗设备和系统)
机译: 蔬菜清洗设备和使用该蔬菜清洗设备的蔬菜清洗系统