公开/公告号CN212584893U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-02-23
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市傲雷电商科技股份有限公司;
申请/专利号CN202021352474.X
发明设计人 周述举;
申请日2020-07-10
分类号F21V9/40(20180101);F21Y115/10(20160101);
代理机构44344 深圳市龙成联合专利代理有限公司;
代理人陈蓉
地址 518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区福海信息港A2栋第五层
入库时间 2022-08-22 19:50:46
机译: 脉冲光的产生方法,脉冲激光装置,具有脉冲激光装置的曝光装置以及具有脉冲激光装置的检查装置
机译: 脉冲光产生方法,具有脉冲激光装置的脉冲激光装置,曝光装置和具有脉冲激光装置的检查装置
机译: 激光装置,极紫外光产生系统,控制激光装置的方法和产生极紫外光的方法