基于VGF法晶体生长用石英封帽以及晶体生长装置

摘要

本实用新型公开一种基于VGF法晶体生长用石英封帽以及晶体生长装置；所述石英封帽与石英管配合使用以实现石英管的密封，石英管内密封有晶体生长用坩埚，坩埚内盛装有晶体生长用原材料，所述原材料与石英封帽之间设置有自由空间；石英管具有开口；所述石英封帽包括盖住石英管的开口的盖体；其特征在于，所述石英封帽具有温控部，所述温控部凸出所述盖体向上，所述温控部具有通向所述石英管的内腔。通过对VGF法晶体生长用的石英封帽、晶体生长装置以及加热工艺的配合改进，能够比较容易的对自由空间的蒸气压进行控制；让自由空间的蒸气压始终处于稳定的状态，从而得到均匀掺杂的单晶体。