法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-15
授权
授权
2013-05-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 15/06 申请日:20121214
实质审查的生效
2013-04-17
公开
公开
机译: 通过在中尺度上联合使用光学,拉曼,荧光,电子和X射线显微技术来提供多级安全预防伪造的方法
机译: 电子束光刻技术的数据形成方法,电子束光刻技术,制造半导体器件的方法以及电子束光刻技术
机译: 用透射电子显微镜观察的样品,一种制造方法,以及用透射电子显微镜观察的方法。