法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N25/14 授权公告日:20180105 终止日期:20190621 申请日:20170621
专利权的终止
2018-01-05
授权
授权
机译: 膜厚测定方法,相对介电常数测定方法,膜厚测定装置以及相对介电常数测定装置
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