法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-18
授权
授权
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 19/72 申请日:20130724
实质审查的生效
2013-11-27
公开
公开
机译: 一种使用差分激光自混合干涉仪和差分激光自混合干涉仪测量系统测量光路变化的方法
机译: 差分光路干涉仪和使用该差分光路干涉仪的傅立叶变换光谱仪
机译: 外差式干涉仪的干涉式相位测量装置-使用来自同一光源的相同波长来测量光路位移和相位,并具有可变光路的拉力补偿