具有纹理化外表面的结构、 以及包括具有纹理化外表面的结构的有机发光二极管装置

摘要

制备用于有机发光装置的具有纹理化外表面(25、23、24)的结构的方法，所述结构包括表面设置有突起(23’)和凹陷(24’)的矿物玻璃衬底(2)，所述方法包括将蚀刻掩膜沉积在衬底表面(21)上，并对所述蚀刻掩膜周围的衬底表面进行蚀刻，并可移除所述掩膜，其特征在于制备所述蚀刻掩膜的步骤之一由在所述衬底表面上形成多个无规排列的球状体(60)构成，并且所述球状体由与玻璃不具有亲和性的材料构成，并且在蚀刻步骤之后，对所述结构进行平滑步骤，其中通过蚀刻充分减少所得亚微米高度和宽度的所述突起的斜率，由此形成经平滑的纹理化外表面。