四管道库特勒湿法刻蚀新型盖板

摘要

本实用新型公开了四管道库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道，蚀刻槽内设有溶液，所述抽风管道为四根，并且位置相互交错，各抽风管道的管道口处于同一水平面，所述朝向溶液的管道口与溶液的液面距离为7-9cm。本实用新型增加了抽风管道，降低了抽风管道与液面距离，解决刻蚀方块电阻上升值过大和抽风不稳定性。