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低气压多波长XeF准分子激光器

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摘要

一种低气压多波长XeF准分子激光器，由放电室，平行平板电容器，平行平板电容器，触发球隙，高压电源，小电感线圈，全反谐振腔镜和输出谐振腔镜组成的准分子激光器，其特征在于：所述的放电室的放电阳极和放电阴极铜圆柱面的刀口电极并分别与平行平板电容器的C

1. 低气压多波长XeF准分子激光器 [P] . 中国专利： CN2739847Y . 2005.11.09
2. 一种准分子激光器稳定性控制方法及准分子激光器 [P] . 中国专利： CN112490839A . 2021-03-12
3. A method for cryo genital, between the cleaning of xef excimer lasers - - of gas mixtures, as well as an apparatus for carrying out the method [P] . 德国专利： DE4428210C2 . 2002-10-24

机译：在清洗混合气体的xef准分子激光器之间进行低温生殖器的方法，以及执行该方法的设备
4. MULTI-WAVELENGTH OSCILLATION NARROW BAND EXCIMER LASER DEVICE [P] . 日本专利： JP2006269628A . 2006-10-05

机译：多波长振荡窄带准分子激光器件
5. Multiple wavelength excimer laser [P] . 美国专利： US4817096A . 1989-03-28

机译：多波长准分子激光器