法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B11/06 授权公告日:20160106 终止日期:20190622 申请日:20100622
专利权的终止
2016-01-06
授权
授权
2012-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/06 申请日:20100622
实质审查的生效
2012-08-01
公开
公开
机译: 测量厚度变化的设备,使用该设备的系统,使用该设备的形态显微镜,测量厚度变化的方法以及使用该方法获取形态图像的方法
机译: 厚度变化测量装置,使用相同厚度的系统,使用相同厚度的表面显微镜,使用厚度变化测量的方法以及使用相同厚度的表面图像的获取方法
机译: 厚度变化测量装置,使用相同厚度的系统,使用相同厚度的表面显微镜,使用厚度变化测量的方法以及使用相同厚度的表面图像的获取方法