掺杂或非掺杂的氧化锌薄膜制造用组合物以及使用其的氧化锌薄膜的制造方法

摘要

本发明提供以有机锌化合物作为原料、没有可燃性、容易处理、通过300℃以下的加热可形成透明的掺杂了IIIB族元素或未掺杂的氧化锌薄膜的氧化锌薄膜制造用组合物，以及使用该组合物的、获得透明的掺杂了IIIB族元素或未掺杂的氧化锌薄膜的方法。本发明的氧化锌薄膜制造用组合物包含如下得到的产物：向有机锌化合物或者有机锌化合物与IIIB族元素化合物的溶液中添加水，使有机锌化合物部分水解，得到产物。含有IIIB族元素化合物时，其相对于有机锌化合物的摩尔比为0.005-0.3。将该组合物涂布于基板表面，加热，形成掺杂了IIIB族元素的氧化锌薄膜。