多晶硅棒的裂纹产生方法和裂纹产生装置

摘要

本发明提供一种多晶硅棒的裂纹产生方法及裂纹产生装置。多晶硅棒的裂纹产生方法在对多晶硅棒加热后进行急冷，由此产生裂纹，其特征在于，该方法具有将冷却流体喷射到上述多晶硅棒的表面的一部分以在其表面成为点状的局部冷却工序。