一种工业气体中痕量水份和痕量氧检测的联检方法和装置

摘要

本发明提供一种工业气体中痕量水份和痕量氧检测的联检方法和装置，装置由下述五个部分组成：痕量水份检测：电解测水份的尾气用于氧量标校；痕量氧检测：脱氧气用于校零，测量尾气用于清除空气污染；共用旁路排放和压力调控与水、氧检测并联；使水氧联检具备“检测”和“待命”功能及状态自动转换的辅助气系统；快速清除采样污染的排洗式采样输入部分。装置用于检测含水份和氧＜3PPMv的工业气体时，五分钟内就能获取准确含量值。本发明可以彻底解决在检测范围内的工业气体中，痕量水份和痕量氧长期以来检测不准，传感器容易损坏，检测系统操作费时费事等一系列老大难题，使中国工业气体痕量水份和痕量氧检测技术，首次步入国际同行的前列。