X线分析装置以及X线分析方法

摘要

本发明提供X线分析装置以及X线分析方法，能够以高作业效率、安全地进行试样测定。作为解决手段，使用了这样的X线分析装置，其特征在于，具有：放射线源，其向试样上的照射点照射放射线；X线检测器，其检测从试样放出的特性X线以及散射X线，输出包含特性X线以及散射X线的能量信息的信号；分析器，其对信号进行分析；载置试样的试样载置台；移动机构，其能够使试样载置台上的试样与放射线源及X线检测器相对地移动；高度测定机构，其能够测定试样上的照射点的高度；以及控制部，其根据测定到的试样上的照射点的高度，控制移动机构，调整试样与放射线源及X线检测器之间的距离。