法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 19/00 授权公告日:20140402 终止日期:20141129 申请日:20111129
专利权的终止
2014-04-02
授权
授权
2012-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 19/00 申请日:20111129
实质审查的生效
2012-07-25
公开
公开
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机译: 半导体工艺参数确定方法,半导体工艺参数确定系统和半导体工艺参数确定程序
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