公开/公告号CN101616796B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-29
原文格式PDF
申请/专利权人 陶氏环球技术有限责任公司;
申请/专利号CN200780051646.0
发明设计人 杰瑟斯·尼托;卡罗拉·罗森塔尔尼马丁;
申请日2007-12-17
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人吴培善
地址 美国密歇根州
入库时间 2022-08-23 09:14:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-29
授权
授权
2010-02-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-30
公开
公开
机译: 用于蚀刻含铜和钛的多层膜的液体组合物,用于所述复合膜的蚀刻方法,制造多层膜的布线的方法以及基质
机译: 用于蚀刻含铜和钛的多层膜的液体组合物,用于所述复合膜的蚀刻方法,制造多层膜的布线的方法以及基质
机译: 用于蚀刻含铜和钛的多层膜的液体组合物,用于所述复合膜的蚀刻方法,制造多层膜的布线的方法以及基质