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公开/公告号CN114690841A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-07-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN202011576427.8
发明设计人 丁利强;蔡小五;曹硕;郝宁;高马利;夏瑞瑞;高悦欣;罗家俊;
申请日2020-12-28
分类号G05F3/26;
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人房德权
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 15:50:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-01
公开
发明专利申请公布
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