使用量子计算的具有动态采样计划、优化晶片测量路径及优化晶片运输的制造厂管理

摘要

本发明提供优化制造厂中的晶片运输及计量测量的系统及方法。方法包括：导出并更新提供晶片特定测量位点及状况的动态采样计划；导出对应于所述动态采样计划的所述晶片的计量测量的优化晶片测量路径；管理通过所述制造厂的FOUP(前开式晶片传送盒)运输，从而将晶片运输到测量工具，同时在将所述FOUP与所述相应晶片运输到所述相应测量工具之前或时，将所述动态采样计划及所述晶片测量路径提供到所述相应测量工具；及由所述相应测量工具根据所述经导出晶片测量路径来实行所述相应晶片的计量及/或检验测量。量子计算资源可用于解决对应特定优化问题，以减少所需时间、改进计算解决方案并改进制造厂合格率以及所生产晶片的准确性。