一种MEMS麦克风防护结构及MEMS麦克风阵列结构

摘要

本发明提供一种MEMS麦克风防护结构及MEMS麦克风阵列结构，MEMS麦克风防护结构包括防尘薄膜、外壳体、底座、MEMS麦克风，所述外壳体和底座连接形成内腔；所述外壳体上开设有用于声音穿透的声孔；所述声孔的下方设有防尘薄膜；所述MEMS麦克风安装在底座上；所述外壳体和底座将防尘薄膜和MEMS麦克风封装在内腔内部形成MEMS麦克风防护结构。本发明能够在较小的空间内实现防尘效果，并且削弱了灰尘对MEMS麦克风的影响，降低了防尘成本，提高了MEMS麦克风的使用寿命。