一种单晶磨削装置、单晶磨削一体机及单晶磨削方法

摘要

本发明提供一种单晶磨削装置，包括粗磨砂轮组和精磨砂轮组，粗磨砂轮组与精磨砂轮组沿着单晶的长度方向依次设置，对单晶的平面及外圆进行磨削；粗磨砂轮组包括第一粗磨砂轮装置和第二粗磨砂轮装置，第一粗磨砂轮装置与第二粗磨砂轮装置平行设置，且第一粗磨砂轮装置与第二粗磨砂轮装置可相对移动，对单晶的平面及外圆进行磨削；精磨砂轮组包括第一精磨砂轮装置和第二精磨砂轮装置，第一精磨砂轮装置与第二精磨砂轮装置平行设置，且第一精磨砂轮装置与第二精磨砂轮装置可相对移动，对单晶的平面及外圆进行磨削。本发明的有益效果是使用两组砂轮完成平面部分和外圆部分的粗磨和精磨，有效减少辅料种类，减少人为干预，提升设备加工效率。