一种面向超精密测量与加工的双级变刚度微动机构

摘要

一种面向超精密测量与加工的双级变刚度微动机构，涉及超精密加工技术领域。为解决传统制造技术采用在安装后先对工件表面实施预加工以确保工件安装以及工件和工具间的定位精度，但对于磨抛后的精密表面的再次加工时，预加工的方法就难以施展，从而导致加工误差较大的问题。底板的上表面设有一个变刚度三自由度微动结构，且变刚度三自由度微动结构与底板的上表面之间设有一个电容传感器支架，变刚度三自由度微动结构和电容传感器支架均通过螺栓与底板的上表面连接。本发明适用于超精密加工技术领域。