自适应热丝化学气相沉积结构及热丝化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种自适应热丝化学气相沉积结构及热丝化学气相沉积设备，其在工作时，反应腔体内的反应气体与热丝反应，在工件上发生化学气相沉积，从而在工件上形成金刚石薄膜；随着多次反应后，热丝的温度场会发生改变，或者，随着工件种类的更换，对温度场的需求也会发生改变；此时，能通过升降装置调节工件装夹单元相对于热丝安装夹具的间距，即能根据热丝的温度场令工件装夹单元朝靠近或远离第一壁面的方向移动，从而在热丝的温度场改变的情况下，调整工件装夹单元的高度以匹配改变后的温度场，保证沉积效果，不需要清洗或更换热丝安装夹具，即本发明的自适应热丝化学气相沉积结构及热丝化学气相沉积设备，能同时保证沉积效果和生产效率。