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公开/公告号CN113899494A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-07
原文格式PDF
申请/专利权人 北京晨晶电子有限公司;
申请/专利号CN202111495832.1
发明设计人 王松杰;汤一;王杰;宋冬谊;高乐;韩雪飞;廖兴才;林立男;张永斌;
申请日2021-12-09
分类号G01L21/00(20060101);
代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人乔慧
地址 100020 北京市朝阳区酒仙桥路2号
入库时间 2023-06-19 13:35:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-18
授权
发明专利权授予
机译: 使用GRAPHENE NANORIBBON测量真空度的传感器,以及包含相同真空度的真空计
机译: 使用石墨烯的真空度传感器和真空计
机译: 用于测量SEM和纤维斜面真空度的冷阴极真空计的保护装置
机译:MgO掺杂纳米颗粒的碳纳米管薄膜的改进的场发射特性及其在微型真空计中的应用
机译:蓝宝石高温薄膜真空计和真空标准可追溯系统的特点
机译:低温薄膜转移工艺制造的MicroPirani真空计的建模与表征
机译:频率输出,基于静电非线性具有高输出线性的多模式真空计
机译:基于变容二极管的电容式并联开关,使用钛酸钡锶(BST)薄膜用于微波应用
机译:具有微型真空计的多壁碳纳米管场致发射器的设计
机译:各种真空计中虚假真空衰减率的导数展开和真空度独立性
机译:自动真空计校准系统