超临界流体装置及超临界流体装置的压力控制方法

摘要

超临界流体装置包括：溶剂供给部，供给溶剂；压力控制装置，设置于由溶剂供给部供给的溶剂的流路；以及控制部，对压力控制装置进行控制。控制部可包括：第一控制部，通过对压力控制装置进行控制，使流路的压力上升而使溶剂为超临界流体的状态从而维持规定处理的执行环境；以及第二控制部，在结束规定处理的执行环境时，设定流路的压力的中间目标值，朝向中间目标值对流路的压力进行控制。