特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜

摘要

该发明公开了一种特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜，所述气浮系统包括：量测腔体、监测装置、气浮装置和控制装置，监测装置用于实时监测量测腔体的位置；气浮装置包括固定气浮垫和多个调整气浮垫，固定气浮垫设在量测腔体的底部以用于承载量测腔体，调整气浮垫设在量测腔体的底部以用于承载量测腔体和调整量测腔体的位置，调整气浮垫的进气口连接有电磁阀以控制调节进气量；控制装置分别与监测装置和气浮装置相连，以根据监测装置的监测信息控制电磁阀的开关以调节调整气浮垫的进气量。气浮系统能够及时快速地调整量测腔体使其保持平衡，且不需要频繁更换阀门，还能够实现提前预警并做出预防动作。